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石墨烧结盘,石墨制品,石墨加工,石墨制品定制,来图生产

产品类型 石墨烧结盘
产品品牌 捷诚
产品简介 由于石墨盘与晶圆接触区域较多,在生长厚膜外延片时,沉积的外延层会增加石墨盘与半导体晶圆的粘接,使得生长完成后将外延片从石墨盘中无损伤取出较为困难,甚至可能导致裂片;2)因晶圆边缘处较高的台阶使得该区域存在气体湍流,容易滞留较多的生长气体,从而使得外延片厚度和载流子浓度均匀性较差;3)因外延炉一般采用射频感应加热,热量传递的方向是沿着石墨盘径向从边缘到中心,使得石墨盘边缘的温度高于中心区域的温度,这在大尺寸外延生长中尤为突出。

捷诚石墨

13500098659

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商品描述

由于石墨盘与晶圆接触区域较多,在生长厚膜外延片时,沉积的外延层会增加石墨盘与半导体晶圆的粘接,使得生长完成后将外延片从石墨盘中无损伤取出较为困难,甚至可能导致裂片;2)因晶圆边缘处较高的台阶使得该区域存在气体湍流,容易滞留较多的生长气体,从而使得外延片厚度和载流子浓度均匀性较差;3)因外延炉一般采用射频感应加热,热量传递的方向是沿着石墨盘径向从边缘到中心,使得石墨盘边缘的温度高于中心区域的温度,这在大尺寸外延生长中尤为突出。  



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