石墨舟皿去垢前的检查工作有哪些

 石墨舟皿去垢前的查看作业：
    石墨舟在使用过程中接近100次时需求操作人员及时查看镀膜情况，呈现镀膜异常，需求进行清洗供认。
    硅片在石墨舟内正常镀膜色彩为蓝色，片内呈现非蓝色、多种色彩或片与片间色彩差异较大，都为镀膜异常，需求工艺供认异常原因。
    由工艺人员对舟的镀膜情况进行剖析后，供认石墨舟是否需求清洗以及卡点是否需求替换，出产将需清洗的舟交由设备人员清洗。
    石墨舟供认需求清洗后，由设备、出产、工艺三方对石墨舟进行查看。