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一种半导体行业新型烧结用石墨模具技术实现要素

发布作者:jcadmin      发布时间:2024年03月25日

一种半导体作业新式烧结用石墨模具技能完结要素:
    本实用新式的意图是为了解决现有技能的缺陷,而提出了一种半导体作业新式烧结用石墨模具
    一种半导体作业新式烧结用石墨模具,其特征在于,包括母模板、公模板和模板弹性杆,所述母模板和所述公模板通过所述模板弹性杆联接,所述公模板上设有可拆卸公模,所述母模板设有凹槽、可拆卸母模、升降组织、活动支撑板和顶起弹性杆,所述活动支撑板设在所述凹槽内底部,所述活动支撑板一端与所述母模板联接,且所述活动支撑板另一端与所述顶起弹性杆联接,所述可拆卸母模设在所述活动支撑板上,所述可拆卸母模通过所述升降组织固定;
    所述升降组织包括螺纹杆、榜首联接杆、第二联接杆、升降电机和齿轮,所述螺纹杆与所述可拆卸母模联接,所述螺纹杆、所述榜首联接杆和所述第二联接杆彼此垂直,所述螺纹杆底端和所述第二联接杆端部设有所述齿轮且啮合,所述第二联接杆中心和所述榜首联接杆端部设有所述齿轮且啮合,所述榜首联接杆中心和所述升降电机设有所述齿轮且啮合。
    优选的,所述母模板内设有清料组织组织通道和清料通道,且所述清料组织组织通道和所述清料通道对称,且底端与所述可拆卸母模顶端齐平,所述清料组织组织通道内设有清料推杆和清料弹性杆。
    优选的,所述可拆卸母模端部设有突块,且所述突块套接在所述螺纹杆上,所述母模板设有匹配可拆卸母模的滑槽。
    优选的,母模板在活动支撑板固定端设有必定斜度的成型品收集通道,成型品收集通道最高点低于清料组织组织通道。
    优选的,所述活动支撑板选用高导热性的原料。
    优选的,所述公模板上设有压力传感器,所述压力传感器设在所述可拆卸公模旁。
    优选的,所述可拆卸公模底部设有若干突块,所述可拆卸母模对应设有通孔,所述突块长度大于所述可拆卸母模高度,所述可拆卸公模高度、所述可拆卸母模高度和所述活动支撑板厚度之和大于所述凹槽深度。
    优选的,所述凹槽底部设有加热块。

石墨模具