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高纯抗氧化石墨坩埚的核心竞争力,源于基体纯度与防护技术的深度融合

发布作者:jcadmin      发布时间:2025年12月23日

高纯抗氧化石墨坩埚的中心竞争力,源于基体纯度与防护技术的深度交融:
基体纯度:99.95%是底线,杂质控制到ppb级
选用经2800℃以上高温石墨化的超高纯石墨(固定碳≥99.95%),灰分总量≤50ppm,关键杂质(Fe、Si、Al)含量≤10ppm(相当于每吨石墨中仅含10mg杂质)。这种纯度能从源头减少高温下的杂质挥发:1600℃真空环境中,总挥发物含量≤0.005%(一般99.5%石墨达0.1%),防止污染电子级硅料(要求金属杂质≤1ppb)。 更关键的是,高密度基体(1.88-1.92g/cm3)的孔隙率≤2%,能减少涂层渗入时的应力会集,使涂层附着力提升至12MPa(一般坩埚仅8MPa),处理了高纯石墨因脆性导致的涂层易坠落问题。

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