石墨坩埚，高纯石墨坩埚

石墨坩埚资料挑选与工艺立异在成型技能与表面处理范畴获得显着开展。高压等离子烧结技能使石墨晶体细密化，前进抗热震功用；3D打印石墨模具结束杂乱流道一体成型，将模具开发周期从30天缩短至7天。表面处理方面，碳化硅/氮化硼复合涂层经过PECVD工艺构成纳米级保护层，在硅单晶成长工艺中可减少杂质颗粒掉落，产品良率前进20%。环保化改造相同成效显着，某企业选用微波膨化法出产胀大石墨，能耗降低40%，废气排放减少60%，符合“双碳”战略下的绿色制作要求。