高纯度石墨坩埚的材料污染风险控制
发布作者:jcadmin 发布时间:2026年05月09日
高纯度石墨坩埚的材料污染危险控制
杂质释放量极低:在半导体单晶硅生长中,灰分<20ppm的石墨坩埚可确保硅晶体中金属杂质含量低,满意太阳能电池级要求。
无蒸发性污染物:高纯度石墨的蒸发分(如H2O、CO)含量低,避免在高温下污染真空或慵懒气氛。
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